特許
J-GLOBAL ID：200903058720572293
クリーンルーム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-166840
公開番号（公開出願番号）：特開2004-012038
出願日： 2002年06月07日
公開日（公表日）： 2004年01月15日
要約：
【課題】清浄エアを小さな送風量で供給しながら、高い清浄度を確保できるクリーンルームを提供する。【解決手段】本発明のクリーンルーム10は、作業室18を挟んで対向する仕切り壁14、14にそれぞれノズル20、20が設けられる。各ノズル20はFFU26に接続されており、このFFU26から送気された清浄エアが2〜3m/sの低速度で吹き出される。ノズル20から吹き出された清浄エアは、対向するノズル20から吹き出された清浄エアと衝突する。これにより、クリーンゾーン42が形成され、作業室18の中央エリアが高い清浄度に確保される。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
空調対象領域を挟んで向き合うようにして設けられた一対の吹出口と、
該一対の吹出口にそれぞれ清浄エアを供給する清浄エア供給手段と、
前記吹出口の上方位置、及び下方位置に設けられた還気口と、を備え、
前記一対の吹出口からそれぞれ吹き出された清浄エア同士を前記空調対象領域で衝突させるとともに、前記空調対象領域のエアを前記還気口から吸い込むことによって、前記清浄エアの衝突位置に清浄なクリーンゾーンを形成させることを特徴とするクリーンルーム。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (3件)：
3L058BD00
, 3L058BE02
, 3L058BF02
