窒化アルミニウム質焼結体

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-259471
公開番号（公開出願番号）：特開平6-116039
出願日： 1992年09月29日
公開日（公表日）： 1994年04月26日
要約：

【要約】【構成】窒化アルミニウムに対して、エルビウム(Er)を金属換算で5重量%以上となる量で添加して混合し,さらに、この混合物に有機バインダーを添加して所定の形状に成形し,450〜650°Cで前記有機バインダーを除去すると同時に成形体中の全酸素量を制御して酸素量のエルビウム金属量に対する重量比が0.127〜0.367となるように制御して、1650〜1950°Cの非酸化性雰囲気中で焼成することにより,焼結体の粒界にモノクリニック型結晶相を析出させることなく、ペロブスカイト型結晶および/またはガーネット型結晶のみを析出させる。【効果】添加成分により発生するシミや色ムラの発生を抑制するとともに高熱伝導化を達成することができる。これにより、かかる焼結体を半導体用基板や電子部品、あるいは構造用材料として用いる場合に、製品の品質の安定化および信頼性を高めることができる。

請求項（抜粋）：

窒化アルミニウムを主成分とし、エルビウム(Er)を金属換算で5重量%以上含有する窒化アルミニウム質焼結体であって、該焼結体中に含まれる全酸素量の前記エルビウムに対する重量比が0.287以上であり、且つ粒界がペロブスカイト型結晶および/またはガーネット型結晶からなり、実質的にモノクリニック型結晶相が存在しないことを特徴とする窒化アルミニウム質焼結体。

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平3-012363
特開平2-204367
特開平2-180761

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