特許

J-GLOBAL ID：200903058725847720

複合酸化物薄膜の形成方法

発明者： 米沢 政 ,  山中 清二
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 須田 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-188028
公開番号（公開出願番号）：特開平5-017154
出願日： 1991年07月02日
公開日（公表日）： 1993年01月26日
要約：

【要約】【目的】 カルボン酸で最初にアルコキシド化合物の加水分解を抑制させておくことにより、薄膜を構成する上で必要な金属を金属水酸化物又は水和物を含む金属塩の形態でも用いることができ、かつコーティング溶液の安定化を図って、多種の複合酸化物薄膜を簡単な操作で形成し得る。【構成】 Zr又はTiのアルコキシドのいずれか又は双方をカルボン酸に溶解する。Zr及びTi以外の金属元素の酢酸塩、硝酸塩、水酸化物、或いはこれらの金属塩水和物からなる群より選ばれた化合物を前記カルボン酸溶液又はアルコールに溶解し、カルボン酸溶液との混合溶液には水を添加して、またアルコール溶液にはカルボン酸溶液を混合してそれぞれコーティング溶液とする。このコーティング溶液を基体表面に塗布して塗膜を形成し、基体を乾燥熱処理して複合酸化物前駆体を生成後、前駆体を焼成して複合酸化物薄膜を得る。

請求項（抜粋）：

ジルコニウムアルコキシド又はチタンアルコキシドのいずれか又は双方をカルボン酸に溶解してカルボン酸溶液を調製し、ジルコニウム及びチタン以外の金属元素の酢酸塩、硝酸塩、水酸化物、或いはこれらの金属塩水和物からなる群より選ばれた1種又は2種以上の化合物を前記カルボン酸溶液に溶解して混合溶液を調製し、前記混合溶液に水を添加してコーティング溶液を調製し、前記コーティング溶液を耐熱性のある基体の表面に塗布して塗膜を形成し、前記塗膜を形成した基体を乾燥熱処理して複合酸化物前駆体を生成し、前記前駆体を600〜1000°Cの温度で焼成する複合酸化物薄膜の形成方法。