有機被膜の除去方法および除去剤

発明者：
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：岩見谷周志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-083001
公開番号（公開出願番号）：特開2003-282518
出願日： 2002年03月25日
公開日（公表日）： 2003年10月03日
要約：

【要約】【課題】オゾンガスを溶解させた処理液の除去対象となる有機被膜の範囲の拡大を図ることができ、レジスト膜については剥離速度や濡れ性を向上させる方法、更に、レジストのみならず、塗膜、油膜等に対しても同様に有効な除去が可能となる方法、および処理液の再生方法、並びに、オゾンガス分解性有機被膜の除去剤を提供すること。【解決手段】1.表面にオゾン分解性有機被膜を有する基体に、オゾンガスを溶解させた処理液を接触させて前記有機被膜を除去する方法において、前記処理液が、(a)前記有機被膜を溶解することができ、かつ、オゾンによって分解され難い有機物質と、(b)気体中のオゾンとの分配係数が室温で 0.6以上であり、かつ、オゾンによって分解され難い1種または複数種混合の有機溶剤との溶液(ただし、前記有機物質および/または前記有機溶剤の少なくとも1種は水溶性である)であることを特徴とする有機被膜の除去方法。2.前記方法で用いられる処理液である、オゾン分解性有機被膜の除去剤。

請求項（抜粋）：

表面にオゾン分解性有機被膜を有する基体に、オゾンガスを溶解させた処理液を接触させて前記有機被膜を除去する方法において、前記処理液が、(a)前記有機被膜を溶解することができ、かつ、オゾンによって分解され難い有機物質と、(b)気体中のオゾンとの分配係数が室温で 0.6以上であり、かつ、オゾンによって分解され難い1種または複数種混合の有機溶剤との溶液(ただし、前記有機物質および/または前記有機溶剤の少なくとも1種は水混和性である)であることを特徴とする有機被膜の除去方法。

IPC (6件)：

H01L 21/304 647 , C11D 7/02 , C11D 7/26 , C11D 7/50 , G03F 7/42 , H01L 21/027

FI (6件)：

H01L 21/304 647 A , C11D 7/02 , C11D 7/26 , C11D 7/50 , G03F 7/42 , H01L 21/30 572 B

Fターム (13件)：

2H096AA25 , 2H096AA27 , 2H096LA03 , 4H003DA15 , 4H003DB01 , 4H003EA31 , 4H003EB07 , 4H003EB09 , 4H003ED03 , 4H003ED26 , 4H003ED32 , 5F046MA02 , 5F046MA05

引用特許：

審査官引用 (1件)

表面付着汚染物質の除去方法及び除去装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-101064 出願人：株式会社ピュアレックス, 有限会社ユーエムエス

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