被処理物搬送ボックス及び処理装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-086339
公開番号（公開出願番号）：特開平6-302679
出願日： 1993年04月13日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：

【要約】【目的】半導体ウエハ等の被処理物を大気にさらすことなく不活性ガス雰囲気の中で処理装置に対し搬入したり搬出したりでき、大気やガス状不純物や粒子状不純物(パーティクル)の被処理物への付着並びに処理装置内への侵入を防止するのに有効な処理装置を提供することを目的とする。【構成】半導体ウエハ5を収納して内部が不活性ガス雰囲気に密封維持されたまま搬送される蓋14付き被処理物搬送ボックス9と、内部が不活性ガス雰囲気に維持される処理装置本体1と、この処理装置本体に連設され被処理物搬送ボックス9が搬入されるドア20,21付きパスボックス10と、このパスボックス10内を不活性ガスに置換するガスガス導入管24及び排気管25と、蓋14を開閉する蓋取り機構33と、被処理物搬送ボックス9内の半導体ウエハ5を装置本体1内方に移送する移載機63とを備えている。

請求項（抜粋）：

被処理物を挿脱可能に収納するボックス本体と、このボックス本体を密封状態に閉塞して内部を不活性ガス雰囲気に維持する開閉操作可能な蓋とを備え、そのボックス本体内に被処理物を収納すると共に蓋を閉じて該ボックス本体内を不活性ガス雰囲気に維持したまま処理装置に搬入出される構成としたことを特徴とする被処理物搬送ボックス。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , H01L 21/02

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平4-184958
特開平2-020040
機械式インターフエース装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-240850 出願人：神鋼電機株式会社

審査官引用 (5件)

特開平4-184958
特開平2-020040
機械式インターフエース装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-240850 出願人：神鋼電機株式会社

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