特許

J-GLOBAL ID：200903058752240381

固体撮像素子の製造方法

発明者： 黒岩 淳
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-019414
公開番号（公開出願番号）：特開2000-223687
出願日： 1999年01月28日
公開日（公表日）： 2000年08月11日
要約：

【要約】【課題】 ブルーミングマージンを確保しつつ読み出し必要電圧VTを下げて必要な読み出しが良好に達成できるようにした固体撮像素子が得られる製造方法を提供する。【解決手段】 フォトダイオード部を備える固体撮像素子の製造方法において、フォトダイオード部の形成用のイオン打ち込み14の際、マスクとなるレジスト13をリフローさせた後に、垂直電荷転送部の読み出し6側に向けてθ=8度以上傾けて打ち込みを行う

請求項（抜粋）：

フォトダイオード部を備える固体撮像素子の製造方法において、フォトダイオード部の形成用のイオン打ち込みの際、マスクとなるレジストをリフローさせた後に、垂直電荷転送部の読み出し側に向けて8度以上傾けて打ち込みを行うことを特徴とする固体撮像素子の製造方法。

IPC (2件)：

H01L 27/148 ,  H01L 31/10

FI (2件)：

H01L 27/14 B ,  H01L 31/10 A

Fターム (18件)：

4M118AA05 ,  4M118AB01 ,  4M118BA13 ,  4M118CA04 ,  4M118CA18 ,  4M118EA03 ,  4M118FA06 ,  4M118FA13 ,  4M118FA26 ,  4M118FA35 ,  5F049MA02 ,  5F049MB03 ,  5F049MB12 ,  5F049NA04 ,  5F049NB05 ,  5F049PA10 ,  5F049QA03 ,  5F049SE01