特許

J-GLOBAL ID：200903058756149230

サセプタ・システム

発明者： マカリ,ジヤコモ・ニコラオ ,  コーデイナ,オル ,  バレンテ,ジヤンルカ ,  クリツパ,ダニロ ,  プレテイ,フランコ
出願人/特許権者： イー・テイ・シー・エピタキシヤル・テクノロジー・センター・エス・アール・エル
代理人 (1件)： 小田島 平吉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-558342
公開番号（公開出願番号）：特表2006-509362
出願日： 2002年12月10日
公開日（公表日）： 2006年03月16日
要約：

本発明は基板及び/又はウエーハの処理装置のためのサセプタ・システムに関していて、少なくも2枚の壁により区切られた処理チャンバー(1)と、少なくとも1個の加熱用ソレノイド(9)を備えている。そのサセプタ・システムは外面により区切られていて、電磁誘導で加熱するのに適した導電性材料から作られている少なくとも1個のサセプタ要素(2、3)を含む。サセプタ要素(2、3)は中空で、サセプタ要素(2、3)の外面の第一の部分が処理チャンバー(1)の壁として機能し、サセプタ要素(2、3)の外面の第二の部分は加熱用ソレノイド(9)に接近して配置するのに適している。

請求項（抜粋）：

基板及び/又はウエーハの処理装置のためのサセプタ・システムで、少なくとも2枚の壁により範囲を定められた処理チャンバー(1)、及び、少なくとも1個の加熱用ソレノイド(9)を備え、外面により範囲を定められ、電磁誘導により加熱するのに適した導電材料から作られた少なくとも1個のサセプタ要素(2、3)を含み、その少なくとも1個のサセプタ要素(2、3)が中空であり、その少なくとも1個のサセプタ要素(2、3)の外面の第一の部分が処理チャンバー(1)の壁として機能するのに適当であり、かつ、その少なくとも1個のサセプタ要素(2、3)の外面の第二の部分が加熱用ソレノイド(9)に近接して配置するのに適当であることを特徴とするサセプタ・システム。

IPC (2件)：

H01L 21/205 ,  C23C 16/458

FI (2件)：

H01L21/205 ,  C23C16/458

Fターム (20件)：

4K030BA37 ,  4K030FA10 ,  4K030GA02 ,  4K030KA09 ,  4K030KA23 ,  4K030KA46 ,  4K030KA47 ,  4K030LA15 ,  5F045AA03 ,  5F045AB02 ,  5F045AB05 ,  5F045AB06 ,  5F045AB09 ,  5F045AB10 ,  5F045AB14 ,  5F045AD14 ,  5F045AD16 ,  5F045DP02 ,  5F045EK02 ,  5F045EM02

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 米国特許第5,879,462号明細書
  
• 米国特許第5,674,320号明細書
  
• 米国特許第5,695,567号明細書
  

審査官引用 (2件)

• 特開平3-112129
  
• デバイスなどの物体をエピタキシャル成長させる装置用のサセプタ
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平9-530071   出願人：エービービーリサーチリミテッド