特許
J-GLOBAL ID：200903058756296420
光変調型センサおよびこのセンサを用いたプロセス計測装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
波多野 久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-325996
公開番号（公開出願番号）：特開平8-184787
出願日： 1994年12月27日
公開日（公表日）： 1996年07月16日
要約：
【要約】【目的】光ファイバによる多重伝送に適した光変調型センサを提供する。【構成】光源からの光を集光する入力集光用レンズ6と、この集光用レンズ6からの光を直線偏光とする偏光子7と、この偏光子7からの直線偏光を円偏光とする波長板8と、この波長板8からの円偏光が入射し且つ発振回路4を備えた透光性の圧電振動子2と、この圧電振動子2からの光を直線偏光とする検光子9と、この検光子9からの直線偏光を収束する出力集光用レンズ10とを備えた。
請求項（抜粋）：
光源からの光を集光する入力集光用レンズと、この集光用レンズからの光を直線偏光とする偏光子と、この偏光子からの直線偏光を円偏光とする波長板と、この波長板からの円偏光が入射し且つ発振回路を備えた透光性の圧電振動子と、この圧電振動子からの光を直線偏光とする検光子と、この検光子からの直線偏光を収束する出力集光用レンズとを備えたことを特徴とする光変調型センサ。
IPC (3件)：
G02F 1/01
, G01D 5/26
, G02F 1/03
