特許

J-GLOBAL ID：200903058763854152

光学素子及び投影露光装置

発明者： 津田 剛志
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 藤本 芳洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-216176
公開番号（公開出願番号）：特開2003-029024
出願日： 2001年07月17日
公開日（公表日）： 2003年01月29日
要約：

【要約】【課題】 内部応力を緩和させた弗化物薄膜により構成される光学薄膜が成膜された光学素子を提供することである。【解決手段】 基板10上に成膜された多層膜よりなる光学薄膜16を有する光学素子であって、前記多層膜は、弗化物材料により構成され、前記多層膜の中の少なくとも一層12が前記基板10に対して圧縮応力を示すことを特徴とする

請求項（抜粋）：

基板上に成膜された多層膜よりなる光学薄膜を有する光学素子であって、前記多層膜は、弗化物材料により構成され、前記多層膜の中の少なくとも一層が前記基板に対して圧縮応力を示すことを特徴とする光学素子。

IPC (5件)：

G02B 5/28 ,  G02B 1/11 ,  G02B 5/26 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

G02B 5/28 ,  G02B 5/26 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D ,  G02B 1/10 A

Fターム (20件)：

2H048FA05 ,  2H048FA07 ,  2H048FA09 ,  2H048FA11 ,  2H048FA24 ,  2H048FA25 ,  2H048GA04 ,  2H048GA11 ,  2H048GA27 ,  2H048GA34 ,  2H048GA56 ,  2H048GA61 ,  2K009AA09 ,  2K009BB02 ,  2K009CC06 ,  2K009DD03 ,  2K009EE00 ,  5F046BA03 ,  5F046CB12 ,  5F046CB25