特許

J-GLOBAL ID：200903058783643646

窒化珪素薄膜および圧電共振子

発明者： 西川 洋行
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-243229
公開番号（公開出願番号）：特開2001-068472
出願日： 1999年08月30日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
要約：

【要約】【課題】機械特性に優れた窒化珪素薄膜を提供するとともに、これを支持膜に用いて、高周波数領域で動作するフィルターなどに使用可能な圧電共振子を提供する。【解決手段】波数700〜1100cm<SP>-1</SP>の赤外吸収スペクトルを、ガウス分布関数を用いて、ほぼ波数800cm<SP>-1</SP>、840cm<SP>-1</SP>および930cm<SP>-1</SP>を中心とする3つのピークに分離し、それぞれの面積をS1、S2、S3としたときに、X=(S2+S3)/(S1+S2+S3)で表わされるXを、0.8≦X<1とする。また、この窒化珪素薄膜を、圧電共振子の支持膜として用いる。

請求項（抜粋）：

赤外吸収分光分析において波数700〜1100cm<SP>-1</SP>にピークを有する窒化珪素薄膜であって、該ピークを、ガウス分布関数を用いて、ほぼ波数800cm<SP>-1</SP>、840cm<SP>-1</SP>および930cm<SP>-1</SP>を中心とする3つのピークに分離し、それぞれの面積をS1、S2、S3としたとき、(S2+S3)/(S1+S2+S3)で表わされるXが、0.8≦X<1を満足することを特徴とする窒化珪素薄膜。

IPC (4件)：

H01L 21/318 ,  H03H 3/02 ,  H03H 9/17 ,  C23C 14/06

FI (4件)：

H01L 21/318 B ,  H03H 3/02 B ,  H03H 9/17 F ,  C23C 14/06 A

Fターム (21件)：

4K029AA06 ,  4K029BA58 ,  4K029BC00 ,  4K029BD00 ,  4K029CA05 ,  4K029DC39 ,  4K029DC48 ,  4K029EA01 ,  5F058BA20 ,  5F058BC08 ,  5F058BD01 ,  5F058BD10 ,  5F058BF15 ,  5F058BJ01 ,  5J108BB04 ,  5J108BB07 ,  5J108BB08 ,  5J108EE13 ,  5J108FF11 ,  5J108KK03 ,  5J108MM04