特許
J-GLOBAL ID:200903058784456785
反射鏡
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-351626
公開番号(公開出願番号):特開2004-184703
出願日: 2002年12月03日
公開日(公表日): 2004年07月02日
要約:
【課題】膜の密着性と生産性がともに良好な銀層を持つ反射鏡を提供する。【解決手段】基板と、前記基板上に形成され、酸化アルミニウムと酸化ランタンの混合物からなる密着層と、前記密着層上に形成された銀を材料とする反射層と、前記反射層上に形成され、5層以上の誘電体を積層して形成された構成を有する誘電体層と、からなる反射鏡であって、前記誘電体層は、最も反射層側が酸化アルミニウム層であり、最上層が酸化チタンと酸化ランタンの混合物層である。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
基板と、
前記基板上に形成され、酸化アルミニウムと酸化ランタンの混合物からなる密着層と、
前記密着層上に形成された銀を材料とする反射層と、
前記反射層上に形成され、5層以上の誘電体を積層して形成された構成を有する誘電体層と、からなる反射鏡であって、
前記誘電体層は、最も反射層側が酸化アルミニウム層であり、最上層が酸化チタンと酸化ランタンの混合物層であることを特徴とする反射鏡。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (8件):
2H042AA02
, 2H042AA22
, 2H042AA28
, 2H042DA04
, 2H042DA08
, 2H042DA12
, 2H042DA15
, 2H042DA16
引用特許:
出願人引用 (3件)
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特開平1-076788
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高反射ミラー
公報種別:公開公報
出願番号:特願2001-105845
出願人:キヤノン株式会社
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反射鏡
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-253747
出願人:株式会社ニコン
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