特許
J-GLOBAL ID:200903058789579753
光学測定装置および光学測定装置の組立方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
山田 正紀
, 小杉 佳男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-236460
公開番号(公開出願番号):特開2006-053107
出願日: 2004年08月16日
公開日(公表日): 2006年02月23日
要約:
【課題】 測定対象との間の距離の微少変動による測定誤差が抑制された光学測定装置、および、このような光学測定装置の組立方法を提供する。【解決手段】 測定対象物に光ビームを出射する光源と、光源から出射して測定対象物で反射した測定光を受光し、測定光に応じた受光信号を出力する受光部とを備えた光学測定装置において、光源は、光源の光軸から外れた所に、光源から測定対象物までの距離が所定範囲内で変動しても光ビームが測定対象物に照射されてなるスポット内において光ビームの照明強度が略一定である強度一定点が存在する特性を有するものであり、受光部は、強度一定点を通る光軸を有するものである。【選択図】 図6
請求項(抜粋):
測定対象物に光ビームを出射する光源と、該光源から出射して前記測定対象物で反射した測定光を受光し、該測定光に応じた受光信号を出力する受光部とを備えた光学測定装置において、
前記光源は、該光源の光軸から外れた所に、該光源から該測定対象物までの距離が所定範囲内で変動しても前記光ビームが前記測定対象物に照射されてなるスポット内において該光ビームの照明強度が略一定である強度一定点が存在する特性を有するものであり、
前記受光部は、前記強度一定点を通る光軸を有するものであることを特徴とする光学測定装置。
IPC (2件):
FI (2件):
G01N21/47 F
, G03G21/00 510
Fターム (23件):
2G059AA01
, 2G059AA05
, 2G059BB06
, 2G059BB09
, 2G059CC19
, 2G059EE02
, 2G059FF08
, 2G059GG02
, 2G059GG10
, 2G059KK01
, 2G059MM10
, 2G059MM14
, 2H027DA09
, 2H027DE02
, 2H027DE07
, 2H027DE10
, 2H027EC03
, 2H027EC06
, 2H027ED04
, 2H027ED08
, 2H027HB05
, 2H027HB09
, 2H027ZA07
引用特許: