試料測定装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林忠 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-007710
公開番号（公開出願番号）：特開平11-201916
出願日： 1998年01月19日
公開日（公表日）： 1999年07月30日
要約：

【要約】【課題】広角領域測定および小角領域測定を行うことが可能であり、広角領域測定の場合と、小角領域測定の場合とで装置の構成を簡単な操作で切り替えることができる試料測定装置を実現する。【解決手段】 X線発生手段1、スリット4、ゴニオメーター2および3がこの順番で一直線上に並べられる。ゴニオメーター2には、回転軸2aを中心に回転する試料ホルダー8と、スリット5が取り付けられて、回転軸2aを中心に旋回するアーム11とが備えられる。広角領域測定の場合、試料ホルダー8に試料10を、アーム11上にX線検出器7を取り付ける。ゴニオメーター3には、回転軸3aを中心に回転する試料ホルダー9と、回転軸3aを中心に旋回するアーム12とが備えられる。小角領域測定の場合、試料ホルダー9に試料10を、アーム12上にX線検出器7を取り付け、ゴニオメーター2とゴニオメーター3との間にスリット5を配置させる。

請求項（抜粋）：

試料にX線を照射したときに該試料によって回折または散乱されたX線の強度の角度依存性を測定することで前記試料の構造を調べるための試料測定装置であって、X線を発生するX線源と、前記X線源から発せられたX線が入射する第1のスリットと、前記第1のスリットを通過したX線を照射する試料を、該試料の表面を通る第1の回転軸を中心として回転可能に支持する第1の試料ホルダーを備えた第1のゴニオメーターと、前記第1のスリットを通過したX線が入射する第2のスリットと、前記第2のスリットを通過したX線を照射する試料を、該試料の表面を通る第2の回転軸を中心として回転可能に支持する第2の試料ホルダーを備えた第2のゴニオメーターと、前記第1または第2のゴニオメーターのいずれか一方のゴニオメーターに搭載され、該一方のゴニオメーターの試料ホルダーにより支持された試料の回転軸を中心として該試料の周囲を旋回する、前記試料により回折または散乱されたX線の強度を測定するためのX線検出器とを有する試料測定装置。

IPC (2件)：

G01N 23/207 , G01N 23/201

FI (2件)：

G01N 23/207 , G01N 23/201

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