蒸着装置と薄膜の製造法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：蛯谷厚志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-236404
公開番号（公開出願番号）：特開2001-059163
出願日： 1999年08月24日
公開日（公表日）： 2001年03月06日
要約：

【要約】【課題】電子銃蒸着法において酸化珪素などの溶融過程を伴う蒸発材料を用いた酸化膜を従来よりも高品質かつ安価に作成するために、蒸発材料の蒸発量制御に大きな影響を与える蒸発材料の溶融面を制御して、蒸発量制御に優れた高効率で安定的な蒸発条件を得やすい蒸着装置と、それを用いた薄膜の製造法を提供する。【解決手段】電子銃を用いて板状または粒状蒸発材料を蒸発させる蒸着装置において、蒸発材料の主蒸発方向を決定する蒸発面傾斜を一定にするために、観測された蒸発量から電子銃への加熱量出力と蒸発材料移動機構への移動速度出力を演算する演算装置を用いて蒸発材料の蒸発量を制御する蒸着装置で、この蒸着装置は好適には、蒸発材料移動機構、基材保持機構、蒸発量観測手段を有する。

請求項（抜粋）：

電子銃を用いた蒸着装置において、蒸発材料の主蒸発方向を決定する蒸発面傾斜を一定にするために、観測された蒸発材料の蒸発量をから、電子銃への加熱量出力と蒸発材料移動機構への移動速度出力を演算する演算装置を用いて蒸発材料の蒸発量を制御する機構を備えてなる蒸着装置。

IPC (2件)：

C23C 14/30 , B32B 9/00

FI (2件)：

C23C 14/30 A , B32B 9/00 A

Fターム (24件)：

4F100AA17B , 4F100AA20 , 4F100AK01A , 4F100AK42 , 4F100BA02 , 4F100EH662 , 4F100EK01 , 4F100EK03 , 4F100EK11 , 4F100JD02 , 4F100JL02 , 4F100JM02B , 4F100JN06 , 4F100JN30B , 4K029AA11 , 4K029AA25 , 4K029BA46 , 4K029BC00 , 4K029BC07 , 4K029CA01 , 4K029DB15 , 4K029DB21 , 4K029EA02 , 4K029EA09

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