特許

J-GLOBAL ID：200903058794985573

ステージ装置、およびこれを用いた露光装置ならびにデバイス製造方法

発明者： 是永 伸茂 ,  薮 修一
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-359832
公開番号（公開出願番号）：特開平11-190786
出願日： 1997年12月26日
公開日（公表日）： 1999年07月13日
要約：

【要約】【課題】 ステージの移動に伴って発生する反力による床振動を軽減させる。【解決手段】 ステージを支持する定盤に回転可能なロータを設け、ロータの回転によりモーメント力を発生させ、ステージの移動時の反力やモーメント力を床に伝えないようにした。

請求項（抜粋）：

移動可能なステージと、該ステージを支持する定盤と、該ステージを駆動する駆動手段と、該ステージの移動に伴って発生する反力を軽減するようにモーメントを発生するロータとを備えたことを特徴とするステージ装置。

IPC (3件)：

G12B 5/00 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

G12B 5/00 T ,  H01L 21/68 K ,  H01L 21/30 503 A ,  H01L 21/30 515 G