特許
J-GLOBAL ID：200903058797666100
板厚測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-023553
公開番号（公開出願番号）：特開平5-223526
出願日： 1992年02月10日
公開日（公表日）： 1993年08月31日
要約：
【要約】【目的】非接触式の板厚測定装置において、温度を測定し更正を行うことによって、温度の影響をなくし、高精度に板厚測定を行うことを目的とする。【構成】板材の両側から光ビームを照射し、その反射光を用いて板厚を測定する測定装置において、測定器を支持している部材、試料台及び外気の温度を測定し、各部の熱膨張による変形を予測して、正確な板厚を推測する。【効果】温度の変化によらず高精度に板厚測定を行うことができる。
請求項（抜粋）：
板材の両面から光を当てることによって板材の厚さを検出する測定装置において、測定器を支持する部材の少なくとも2ヵ所において温度を測定し、その結果により測定した板厚の結果を補正することを特徴とする板厚測定装置。
IPC (3件)：
G01B 11/02
, G01B 21/08 101
, G01C 3/06
