レーザ加工装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：則近憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-162607
公開番号（公開出願番号）：特開平5-008062
出願日： 1991年07月03日
公開日（公表日）： 1993年01月19日
要約：

【要約】【目的】レーザ光照射部となるワークの表面状態が変化したり、反射ミラーの反射率が変化した場合でも安定した加工面の品質を得ることのできるレーザ加工装置を提供することを目的とする。【構成】レーザ発振器1から出力されたレーザ光2は反射ミラー3によって集光レンズ4に伝送され、この集光レンズ4でレーザ光は集光されて、加工テーブル5上に固定されたワーク6に照射される。ワーク6表面上のレーザ光照射部の表面温度を温度測定装置9により検出し測定データを出力する。温度制御装置では、予め入力されている加熱パターン(温度パターン)と測定データを比較し、その温度差を小さくするようにレーザ制御装置7でレーザ発振器1の出力を制御する。そして、ワーク表面のレーザ光照射部の温度を一定の温度パターンに保つ。

請求項（抜粋）：

レーザ光を出力するレーザ発振器と、このレーザ発振器から出力されたレーザ光を集光する集光レンズと、この集光レンズにより集光されたレーザ光がワークに照射された照射部の表面温度を検出する表面温度測定器と、この表面温度測定器の出力する温度データが予め入力された設定温度に一致するようにレーザ光の出力を制御するレーザ光出力調整部を有する表面改質加工用レーザ加工装置。

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