エッチング液の再生方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小森久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-139270
公開番号（公開出願番号）：特開平8-333690
出願日： 1995年06月06日
公開日（公表日）： 1996年12月17日
要約：

【要約】【目的】生産性を向上させ、設備費やランニングコストを低減するとともに、廃棄物のなくすことで環境破壊を起こさないエッチング液の再生方法を提供する。【構成】エッチングマシン1では塩化(III) 鉄溶液によってステンレスのエッチングが行われ、再生タンク2で組成の変化したエッチング液に再生助剤用タンク3から塩酸と過酸化水素水とが添加され、エッチング液がエッチング可能な組成に再生される。このとき、エッチング液中には塩化(II)ニッケルや塩化(III) クロム等が不純物として含有される。そして、分離タンク5でこのエッチング液中から不純物である塩化(II)ニッケルや塩化(III) クロム等が限界析晶法により取り出し、不純物を含有しないエッチング液に再生する。

請求項（抜粋）：