特許
J-GLOBAL ID：200903058827293753
基板保持カセット
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
羽切 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-271156
公開番号（公開出願番号）：特開平7-106408
出願日： 1993年10月05日
公開日（公表日）： 1995年04月21日
要約：
【要約】【目的】 使用されるべき基板自動処理装置の小型化、低コスト化及び処理効果の向上等に寄与する基板保持カセットを提供すること。【構成】 基板保持カセット20について、基板2の主面に平行な方向における最大寸法B1 を該方向における該基板2の外形寸法Dよりも小とし、以て上記の効果を得ている。
請求項（抜粋）：
複数枚の基板をその主面同士が平行となるように整列して保持し得、該基板の主面に平行な方向における最大寸法が該方向における基板の外形寸法よりも小となされたことを特徴とする基板保持カセット。
IPC (2件)：
H01L 21/68
, H01L 21/304 341
