回路検査用デバイスおよびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村静男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-169397
公開番号（公開出願番号）：特開平7-027790
出願日： 1993年07月08日
公開日（公表日）： 1995年01月31日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】より信頼性の高い回路検査用デバイスおよびその製造方法を提供する。【構成】本回路検査用デバイスは、複数本のリード線10a,10bを設けた電気絶縁性薄膜が複数枚積層されており、薄膜の1枚または複数枚を貫通して所定の薄膜上のリード線の1つと導通する接触子が最下層の薄膜の下面に突出して複数個設けられているバンプ付き可撓性膜部20と、この膜部20を支持する回路基板とを少なくとも有し、回路基板に設けられた複数の伝送線と膜部20のリード線および接触子を介して検査信号の入出力を行う。前記接触子は、導通対象のリード線が設けられている薄膜よりも下層に位置する薄膜上に付着した導電性部材により複数に区分されており、かつ前記導電性部材は、接触子を形成するために薄膜に設けられる貫通孔の開口を少なくとも覆う大きさを有している。

請求項（抜粋）：

複数本のリード線を設けた電気絶縁性薄膜が複数枚積層されており、かつ前記電気絶縁性薄膜の1枚または複数枚を貫通して所定の電気絶縁性薄膜上のリード線の1つと導通する接触子が最下層の電気絶縁性薄膜の下面に突出して複数個設けられているバンプ付き可撓性膜部と、このバンプ付き可撓性膜部を支持する回路基板とを少なくとも有し、前記回路基板に設けられた複数の伝送線と前記バンプ付き可撓性膜部の前記リード線および前記接触子を介して検査信号の入出力を行う回路検査用デバイスにおいて、前記電気絶縁性薄膜の複数枚を貫通して所定の電気絶縁性薄膜上のリード線の1つと導通する接触子は、導通対象の前記リード線が設けられている電気絶縁性薄膜よりも下層に位置する電気絶縁性薄膜上に付着した導電性部材により複数に区分されており、かつ前記導電性部材は、前記接触子を形成するために前記電気絶縁性薄膜に設けられる貫通孔の開口を少なくとも覆う大きさを有していることを特徴とする回路検査用デバイス。

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