特許
J-GLOBAL ID：200903058831246840
単結晶材料の方位修正用支持装置および研削装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐野 章吾 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-198467
公開番号（公開出願番号）：特開平10-015795
出願日： 1996年07月08日
公開日（公表日）： 1998年01月20日
要約：
【要約】【課題】 高い加工精度と高い加工能率をもって、単結晶材料を特定の方位面が得られるように加工することができる研削技術を提供する。【解決手段】 装置基台10に水平回転可能に設けられた回転テーブル5と、この回転テーブル5に設けられて、水晶ウェハWを取外し可能に支持する研削支持面31aを備えるワーク支持体6と、予め設定された研削基準面5aに対する研削支持面31aの傾斜角度を調整する傾斜角度調整機構7とを備えてなり、研削支持面31a上で支持回転される水晶ウェハWを、研削基準面5aと平行な研削砥石面1aを有する砥石車1により研削加工することにより、水晶ウェハWの被研削面Waは、その方位誤差を修正されて特定の方位角度をもった方位面に研削加工される。
請求項（抜粋）：
単結晶材料を特定の方位面が得られるように研削加工する研削装置に備えられるものであって、装置基台に水平回転可能に設けられた回転手段と、この回転手段に設けられて、単結晶材料をその被研削面が上になるようにかつ取外し可能に支持する研削支持面を備える支持手段と、予め設定された研削基準面に対する前記支持手段の研削支持面の傾斜角度を調整するワーク方位修正手段とを備えてなることを特徴とする単結晶材料の方位修正用支持装置。
引用特許：
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