薄膜磁気記録媒体の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-030444
公開番号（公開出願番号）：特開平8-221745
出願日： 1995年02月20日
公開日（公表日）： 1996年08月30日
要約：

【要約】【目的】基板テクスチャ処理において、研磨剤を保持するテ-プ状保持体の製造過程で混入、あるいは付着する異物、塵埃を除去しスクラッチやバリの発生を抑制する。【構成】研磨材が滴下されたテ-プ状保持体3を、回転する基板1の半径方向にコンタクトゴムロ-ラ2を介して均等に押圧しながら一定速度で送り、基板1とテ-プ状保持体3との相対速度差を持たせることにより、基板1の円周方向に微細で均一な溝、凹凸からなるテクスチャ形状を形成する方式において、テ-プ状保持体3の作用直前の位置に除塵ユニット7を設置した。除塵ユニット7は、超音波プレッシャ-エア-をテ-プ状保持体3の表面に吹きつけ、テ-プ状保持体3の表面から製造過程で混入、あるいは付着する異物や塵埃を剥離し、バキュ-ム(真空吸引)除去する。【効果】基板テクスチャ面のスクラッチやバリの発生を抑制することにより、磁気記録媒体面での磁気ヘッドの浮上性やエラ-特性が改善される。

請求項（抜粋）：

アルミ円板上にNi-Pメッキ処理された基板表面上に円周方向のテクスチャ工程を有する磁気記録媒体の製造方法において、前記テクスチャ工程は弾力性を有するテ-プ状保持体に研磨剤を滴下させ、上記基板と該テ-プ状保持体との相対速度差により円周方向に凹凸形状を形成する際のテ-プ状保持体の作用直前の位置に除塵機能を付加することを特徴とする薄膜磁気記録媒体の製造方法。

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