特許
J-GLOBAL ID：200903058839705496
収束電子線回折図形を用いた歪み評価装置およびその評価方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富田 和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-189705
公開番号（公開出願番号）：特開平6-036729
出願日： 1992年07月16日
公開日（公表日）： 1994年02月10日
要約：
【要約】【目的】微細な試料の結晶構造の歪みを評価することのできる評価装置を提供する。【構成】電子顕微鏡本体1と、前記電子顕微鏡本体により得られた収束電子回折図形を取り込む画像取り込み装置7と、前記試料が結晶構造に歪みを有していない場合の理論的なホルツ線の軌跡を近似的に計算する計算手段9と、前記収束電子線回折図形に表れているホルツ線と計算により求めたホルツ線とを比較し、一致しないホルツ線に対応する試料の格子面を表示する。
請求項（抜粋）：
電子線を試料上に収束させる収束レンズ系と、前記試料を透過した電子線を結像させ収束電子線回折図形を形成する対物レンズと、前記収束電子線回折図形を取り込む画像取り込み手段と、表示手段と、入力手段と、前記試料が結晶構造に歪みを有していない場合の理論的な収束電子線回折図形の複数のホルツ線の軌跡を近似的に計算する計算手段と、前記画像取り込み装置の取り込んだ収束電子線回折図形と前記計算手段の計算したホルツ線の軌跡を重ね合わせた画像を生成する画像処理手段とを有し、前記表示手段は、前記画像処理手段が生成した画像を表示し、前記入力手段は、前記計算手段の計算した複数のホルツ線のうち、前記画像取り込み装置の取り込んだ収束電子線回折図形に表れているホルツ線と一致していないホルツ線を、前記表示装置の画像上で指定する外部からの入力を受け付け、前記計算手段は、前記入力手段が受け付けた外部から指定されたホルツ線に対応する前記試料の結晶の格子面を求めて、前記表示手段に表示させることを特徴とする収束電子線回折図形を用いた歪み評価装置。
IPC (3件)：
H01J 37/26
, G01N 23/207
, H01J 37/295
