特許

J-GLOBAL ID：200903058840655907

光変調素子

発明者： 鷹野 秀明 ,  北島 茂樹 ,  井上 宏明
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 薄田 利幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-214349
公開番号（公開出願番号）：特開平9-061761
出願日： 1995年08月23日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：

【要約】【目的】 自己保持性を有する光変調素子を得る。【構成】 n-InP基板11上に共振器部40と付加容量部41を設ける。共振器部には、4つの柱状のFeドープInGaAsP層14で支持された可動薄膜電極10と、基板裏面側の可動薄膜電極10に対向する一部を除去して設けた裏面薄膜電極との間で、静電引力により共振器長が可変するファブリペロー共振器を形成する。付加容量部には、両端が固定電極4で支持された可動薄膜電極5と、裏面電極17との間で静電引力により容量値が増加するコンデンサを形成する。駆動電源3により電圧を印加すると、共振器長が変化し、その変調状態をコンデンサの容量と電極間の抵抗によるRC時定数で規定される時間だけ保持するので、パルス電圧駆動で変調状態を保持できる。

請求項（抜粋）：

半導体基板上に絶縁性の柱状支持部により支持されると共にエアギャップを介して設けられた半導体薄膜と金属薄膜とからなる可動薄膜電極部と、該可動薄膜電極部と対向する半導体基板側に位置する半導体薄膜と金属薄膜とからなる裏面薄膜電極部とで構成するファブリペロー共振器と、前記可動薄膜電極部に一方の電極が接続されると共に裏面薄膜電極部に他方の電極が接続されたコンデンサとを有し、両薄膜電極部間に印加される電圧に応じて生じる静電引力によってファブリペロー共振器長を制御することにより、両薄膜電極部の一方から入射して他方へ出射する透過光の透過光特性を変調するように構成したことを特徴とする光変調素子。

IPC (5件)：

G02F 1/015 505 ,  H04B 10/152 ,  H04B 10/142 ,  H04B 10/04 ,  H04B 10/06

FI (2件)：

G02F 1/015 505 ,  H04B 9/00 L