特許
J-GLOBAL ID：200903058846490780
液体供給システム及び液体供給方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大島 陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-311151
公開番号（公開出願番号）：特開平6-220640
出願日： 1993年11月16日
公開日（公表日）： 1994年08月09日
要約：
【要約】【目的】 PECVDシステムでの液体状の化学薬品の供給を、均一の安定した圧力で、利用者の決めた所望のフローレートで行い、また液体状の化学薬品に粒子及びガスが含まれないようにし、かつ正確に液体計量することである。【構成】 マスフローコントローラと、液体に溶解したガスの除去装置とを備えた液体供給システムであって、前記ガス除去装置が、低圧源に接続された低圧接続部と、入口と、出口とを備えた容器と、前記液体を透過させず、前記ガスを透過させ、前記容器内に配置され、前記容器の前記入口に接続された一方の端部と、前記容器の前記出口に接続されたもう一方の端部とを備えた構造とを有する。
請求項（抜粋）：
マスフローコントローラと、液体に溶解したガスの除去装置とを備えた液体供給システムであって、前記ガス除去装置が、低圧源に接続された低圧接続部と、入口と、出口とを備えた容器と、前記液体を透過させず、前記ガスを透過させ、前記容器内に配置され、前記容器の前記入口に接続された一方の端部と、前記容器の前記出口に接続されたもう一方の端部とを備えた構造とを有することを特徴とする液体供給システム。
IPC (3件)：
C23C 16/44
, B01D 19/00
, C30B 25/14
