ガラス基板のクリーニング装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩橋文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-038353
公開番号（公開出願番号）：特開2000-237699
出願日： 1999年02月17日
公開日（公表日）： 2000年09月05日
要約：

【要約】【課題】クリーニング品質を確保することができるガラス基板のクリーニング装置を提供することを目的とする。【解決手段】ガラス基板1の縁部の表面付着物をワイパーテープ4によって除去するガラス基板のクリーニング装置において、ワイパーテープ4をガラス板1Aに両面に押し付ける押し付け部材12の間にワイパーテープ4をガイドして押し付け部材12の押し付け面12aに位置させるガイド13を設け、このガイド13を上下2つの押し付け部材12の間で移動させるようにした。これにより、押し付け部材12の形状をガラス基板1の段差部に応じて突部12bを設けたエッジ形状とした場合においても、ワイパーテープ送り時に突部12bにワイパーテープ4が引掛ることがなく、安定してワイパーテープ4を送ることができる。

請求項（抜粋）：

ガラス基板の縁部の表面付着物をワイパーテープによって除去するガラス基板のクリーニング装置であって、前記縁部の表裏両面に押し付け部材により前記ワイパーテープを押し付けるテープ押し付け手段と、このテープ押し付け手段を前記ガラス基板に対して相対的に移動させ位置決めする位置決め手段と、前記テープ押し付け手段に対してワイパーテープを送給するテープ送給手段と、前記押し付け部材の間に配設され前記押し付け部材に対して送給されたワイパーテープをガイドして前記押し付け部材のガラス基板に対する押し付け面に位置させるガイド部材と、このガイド部材を前記押し付け部材の間で移動させる移動手段とを備えたことを特徴とするガラス基板のクリーニング装置。

Fターム (7件)：

3B116AA02 , 3B116AB42 , 3B116BA01 , 3B116BA08 , 3B116BA22 , 3B116BA34 , 3B116CD41

引用特許：

出願人引用 (2件)

洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-063103 出願人：株式会社日立製作所
樹脂成形型面クリーニング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-174644 出願人：筑波精工株式会社

審査官引用 (2件)

洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-063103 出願人：株式会社日立製作所
樹脂成形型面クリーニング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-174644 出願人：筑波精工株式会社

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