特許
J-GLOBAL ID：200903058867030216
Ti-Wターゲツト材
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大場 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-212873
公開番号（公開出願番号）：特開平5-033129
出願日： 1991年07月30日
公開日（公表日）： 1993年02月09日
要約：
【要約】【目的】 スパッタリング中にパーティクルの発生が少ないTi-Wターゲットを提供する。【構成】 アルゴン圧 5.0×10マイナス3乗torr、直流電流投入電力 10W/cm2の条件下で、25時間スパッタリングしたときに、ターゲット材表面に発生する最大径 50μm以上の突起のターゲット材の通常表面と突起との境界での面積の和がターゲット材表面積に対して2%以下であることを特徴とするTi-Wターゲット材である。
請求項（抜粋）：
アルゴン圧 5.0×10マイナス3乗torr、直流電流投入電力 10W/cm2の条件下で25時間スパッタリングしたときに、ターゲット材表面に発生する、最大径 50μm以上の突起のターゲット材の通常表面と突起との境界での面積の和が、ターゲット材表面積に対して2%以下であることを特徴とするTi-Wターゲット材。
IPC (2件)：
引用特許：
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