特許

J-GLOBAL ID：200903058870329664

研磨材

発明者： 中川 知明
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 新井 清子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-095255
公開番号（公開出願番号）：特開平6-278042
出願日： 1993年03月30日
公開日（公表日）： 1994年10月04日
要約：

【要約】【目的】被研磨体に数段階の研磨工程を行なう場合、あるいは、被研磨体の領域ごとに異なる精度の研磨仕上げを行なう場合にも、研磨材を取り替える必要がなく、効率良く研磨作業を行なうことのできる研磨材を提供する。【構成】研磨層3a,3b,3cが複数の領域に形成されており、隣接する領域の研磨層は、研磨材粒子の種類あるいは研磨材粒子の粒度の少なくともいずれかが相違して形成されている研磨材1。

請求項（抜粋）：

研磨材用基材と、該研磨材用基材の上に形成されている研磨層とを有する研磨材において、前記研磨層が複数の領域に形成されており、隣接する領域の研磨層同士は、研磨材粒子の種類あるいは研磨材粒子の粒度の少なくともいずれかが相違して形成されていることを特徴とする研磨材。