特許
J-GLOBAL ID：200903058873833061
マルチワイヤソーによる切断方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
押田 良久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-234144
公開番号（公開出願番号）：特開平5-050422
出願日： 1991年08月20日
公開日（公表日）： 1993年03月02日
要約：
【要約】【目的】マルチワイヤソーで脆性材料を切断する際、ワーク端部の余長部の割れ、折れを防止する。【構成】ワイヤソーのワーク押上台上に固定した鋼製ベース9上にダミー板8を介してワーク6を固定する。上記ワーク6の端面に補強部材13を接着して当該ワーク6を切断する。切断途中でワーク端部の余長部に外向きの力が作用した場合、上記補強部材13により余長部が支持される。【効果】ワーク両端の余長部を薄厚にしても余長部が割れたり折れたりすることがない。一つのワークから採取できる製品ウエハの枚数が増加する。切断コストおよび材料費が安くつく。
請求項（抜粋）：
走行するワイヤと被切断物の間に砥粒を含む加工液を供給し、当該ワイヤが形成する所定ピッチのワイヤ列に被切断物を押しつけながら研削作用によって多数のウエハに切断するマルチワイヤソーにおいて、被切断物の端面に補強部材を配して切断することを特徴とするマルチワイヤソーによる切断方法。
IPC (3件)：
B28D 1/22
, B24B 27/06
, B28D 1/08
