特許
J-GLOBAL ID：200903058882116240
固体撮像素子
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梅田 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-014515
公開番号（公開出願番号）：特開平6-232379
出願日： 1993年02月01日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：
【要約】【構成】 カラーフィルター8a,8b,8c上に第1透明保護層9を形成し、更に、第1透明保護層9上にマイクロレンズ11を形成する。次に、マイクロレンズ11による凹凸を、撥水性及び撥油性を有し(低表面エネルギーを有し)、可視領域の光に対して高い透過率を有し、塗布時の平坦化能力が高く、マイクロレンズ11の屈折率より低い屈折率を有する第1透明樹脂層12によって平坦化する。【効果】 マイクロレンズの集光効果を失うことなく固体撮像素子の表面にダスト等が付着しにくくなり、付着したとしても綿棒等によって簡単に除去することができる。
請求項（抜粋）：
受光部上部にマイクロレンズが形成された固体撮像素子に於いて、前記表面部に設けられたマイクロレンズによって形成された凹凸部が、前記マイクロレンズの屈折率よりも低屈折率で且つ撥水性及び撥油性を有する透明樹脂によって平坦化されていることを特徴とする固体撮像素子。
IPC (4件)：
H01L 27/14
, G02B 27/00
, H01L 23/29
, H01L 23/31
H01L 27/14 D
, H01L 23/30 D
