形状測定装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：本庄武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-149738
公開番号（公開出願番号）：特開2002-340539
出願日： 2001年05月18日
公開日（公表日）： 2002年11月27日
要約：

【要約】【課題】ウェーハの両面側にフィゾー干渉計を互いに対向配置して得られた干渉縞画像から前記ウェーハの両面の形状を測定する従来の形状測定装置では,ウェーハの移動によって測定精度が低下する場合があった。【解決手段】本発明は,位相シフト法を用いてウェーハの一方の面の形状を測定するのに同期してウェーハの他方の面の干渉縞画像から移動量を計算し,求めた移動量を用いて,ウェーハの一方の面の形状を計算することによって,ウェーハに移動がある場合にも高い測定精度を確保することを図ったものである。

請求項（抜粋）：

ウェーハに向けて照射される平行光の一部を透過して残りを反射する参照面を有した参照板と,前記参照板を透過して前記ウェーハで反射された前記平行光の反射光と前記参照板の参照面で反射された前記平行光の反射光との光路差によって生じる干渉縞画像を取得する干渉縞画像取得手段と,前記ウェーハに対して前記参照板を並進移動させる並進移動手段とをそれぞれ含み,前記ウェーハの両面に互いに対向配置された2つの測定手段を具備し,前記測定手段を用いて位相シフト法に従って前記ウェーハの両面の形状を測定する形状測定装置において,一方の前記測定手段を用いて位相シフト法に従って前記ウェーハの一方の面について前記干渉縞画像を取得するときの前記ウェーハの他方の面についての前記干渉縞画像を,他方の前記測定手段の前記並進移動手段による他方の前記参照板の並進移動を停止させた状態で,他方の前記測定手段の前記干渉縞画像取得手段により取得して,前記ウェーハの移動量を定めるウェーハ移動量計算手段を具備し,前記ウェーハの移動量を利用して前記ウェーハの一方の面の形状を計算してなることを特徴とする形状測定装置。

IPC (3件)：

G01B 11/30 101 , G01B 9/02 , H01L 21/66

FI (3件)：

G01B 11/30 101 A , G01B 9/02 , H01L 21/66 P

Fターム (36件)：

2F064AA09 , 2F064BB00 , 2F064CC04 , 2F064GG22 , 2F064GG70 , 2F064HH01 , 2F064JJ01 , 2F065AA47 , 2F065BB03 , 2F065BB23 , 2F065CC19 , 2F065DD03 , 2F065FF51 , 2F065HH13 , 2F065JJ01 , 2F065JJ09 , 2F065LL00 , 2F065LL04 , 2F065LL57 , 2F065MM02 , 2F065QQ13 , 2F065QQ17 , 2F065QQ28 , 2F065QQ41 , 4M106AA01 , 4M106BA04 , 4M106CA48 , 4M106DB07 , 4M106DB12 , 4M106DB13 , 4M106DH31 , 4M106DH38 , 4M106DH39 , 4M106DJ03 , 4M106DJ17 , 4M106DJ32

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