特許

J-GLOBAL ID：200903058883447240

流体塗布装置

発明者： 平田 満 ,  馬場 義人
出願人/特許権者： 平田機工株式会社 ,  シプレイ・ファーイースト株式会社
代理人 (1件)： 中野 雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-154411
公開番号（公開出願番号）：特開平6-339657
出願日： 1993年05月31日
公開日（公表日）： 1994年12月13日
要約：

【要約】【目的】 スロット型の流体塗布装置(スロット式粘液噴出塗布装置)において、塗布ヘッドの乾燥を防止する。【構成】 塗布ヘッド乾燥防止器91を、一対の回動アーム92によって略180度回動自在に支持し、塗布ヘッド乾燥防止器91の上面には塗布ヘッド55のノズル口117を納めるための湿潤化溝94を凹設し、湿潤化溝94の底面には1個ないし複数個の吹出し口95を設ける。この吹出し口95からはシンナー等の有機溶剤12aの気化ガス12bが吹き出している。塗布ヘッド55の待機時には、塗布ヘッド55の下面を塗布ヘッド乾燥防止器91によって覆い、ノズル口117を湿潤化溝94内に納めて溶剤雰囲気中におく。塗布時には、塗布ヘッド乾燥防止器91は180度反転して吹出し口95を下方へ向けており、塗布液12を塗布された塗布対象物11に気化ガス12bを吹き付ける。

請求項（抜粋）：

流体を注入するための流体注入口と、該流体注入口から注入された流体を幅方向に拡散させるための空洞部と、該空洞部内の流体を一定の厚みにして流出させるためのスロットとを塗布ヘッドに形成された流体塗布装置において、塗布ヘッドの待機時に、塗布ヘッドのスロット開口部を湿潤させるための手段を備えたことを特徴とする流体塗布装置。

IPC (3件)：

B05C 5/02 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/28

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-332116
  
• 特開平4-351417
  
• 特開平4-118067
  
• 特開平3-169365