表面研削方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-182977
公開番号（公開出願番号）：特開平9-029630
出願日： 1995年07月19日
公開日（公表日）： 1997年02月04日
要約：

【要約】【目的】研削異常の検出のほか研削状況を検出可能な表面研削方法を提供する。【構成】モータ20、26の回転計28、34と電流計30、36とから得られた波形の振幅値が徐々に大きくなる傾向にあると、CPU32は砥石14に目づまりが生じていると判断し、装置制御装置46を介して自動ドレッシング装置52を制御して砥石14のドレッシングを行う。前記装置制御装置46にはドレッシングモードが記憶されていて、装置制御装置46はCPU32から出力された情報に応じた前記モードを選択し、この選択したモードでドレッシングを行うように自動ドレッシング装置52を制御する。振動計40から得られた波形の振幅値に異常値が発生し、そして回転計28、34と電流計30、36とから得られた波形の振幅値の周波数帯域が大きくなる傾向にあると、CPU32は装置制御装置46を介して自動トゥルーイング装置54を制御して、砥石14のトゥルーイングを行う。

請求項（抜粋）：

被加工物支持テーブルに支持された被加工物の表面に、回転する砥石を押し付けて該被加工物の表面を研削する表面研削方法に於いて、前記被加工物の表面研削中における研削抵抗値を取り込み、該取り込んだ研削抵抗値の波形に基づいて前記被加工物の加工歪層深さの変化を検出するようにしたことを特徴とする表面研削方法。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭63-062676
特開昭63-062676

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