特許
J-GLOBAL ID：200903058897869563
半導体加速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-304493
公開番号（公開出願番号）：特開平5-142247
出願日： 1991年11月20日
公開日（公表日）： 1993年06月08日
要約：
【要約】【目的】車体制御用の半導体加速度センサやエンジン制御用の半導体圧力センサ等に係るものであり、カンチレバーやダイヤフラムの耐久性向上を目的とした構造を提供する。【構成】半導体加速度センサとして、単結晶シリコン1を加工して、ウエットエッチングにより途中まで進行し、続いてドライエッチングにより可動電極4とそれを支えるカンチレバー5を構成することによりカンチレバー5にR部7が構成される。それによって電極6との間の空隙10の変化量を加速度として検出するものである。同様に半導体圧力センサもダイヤフラムにR部7を構成することによりスムースに動作し、耐久性が向上する。
請求項（抜粋）：
シリコン板をエッチングして、カンチレバーとその先端に可動電極を形成し、可動電極に相対して、1ないし2個のガラス板の固定電極を設け、前記三層構造である可動電極と固定電極の空隙(容量)の変化のための空隙の寸法が所定の値に拘束又は制御され、その変位から出力信号を取り出すものにおいて、前記カンチレバーの根元にドライエッチングによりR部を設けることを特徴とした半導体加速度センサ。
IPC (3件)：
G01P 15/12
, G01P 15/00
, H01L 29/84
