特許
J-GLOBAL ID：200903058913288630
膜厚測定装置および膜厚測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-321064
公開番号（公開出願番号）：特開平11-153416
出願日： 1997年11月21日
公開日（公表日）： 1999年06月08日
要約：
【要約】【課題】 小型化および低価格化を図ることができる膜厚測定装置を提供する。【解決手段】 試料9上に形成されている膜の膜厚を測定する膜厚測定装置1において、光源部10に赤色LED11、緑色LED12および青色LED13を設ける。これらのLEDからの赤色光11L、緑色光12Lおよび青色光13Lの各一を試料9に照射したときの反射光をCCD31にて受光し、測定反射率算出部41がそれぞれの光に対する測定反射率を求める。そして、所定範囲内の膜厚から理論上求められる理論反射率と測定反射率とを比較して膜厚算出部43が試料9上の膜の膜厚を求める。これにより、分光器や干渉フィルタ等が不要な簡単な構成の膜厚測定装置1が実現され、膜厚測定装置の小型化および低価格化を図ることができる。
請求項（抜粋）：
試料上に形成された膜の膜厚を測定する膜厚測定装置であって、波長帯域の異なる複数の光を前記試料に至る光路へ個別に出射する複数の半導体発光素子と、前記試料からの反射光を受光して受光信号を生成する受光手段と、前記受光信号に基づいて前記複数の光のそれぞれに対する前記試料の反射率である測定反射率を求める手段と、前記複数の光のそれぞれにおける前記測定反射率と理論的に求められる理論反射率とから前記膜厚を求める手段と、を備えることを特徴とする膜厚測定装置。
引用特許：
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