プラズマ増強化学蒸着法による耐摩耗性被膜

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：青木篤 , 石田敬 , 古賀哲次
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-538950
公開番号（公開出願番号）：特表2008-518109
出願日： 2005年10月06日
公開日（公表日）： 2008年05月29日
要約：

大気圧グロー放電蒸着により、有機ポリマー基板の表面に複層被膜を調製する方法であって、上記方法の段階は、下記; プラズマ重合され、光学的に透明な、有機ケイ素化合物の層(第一の層)を蒸着させる段階、そしてその後; 第二の段階において、ポリマーシロキサン又は酸化ケイ素化合物の実質的に均一な層(第二の層)を、前記第一の層の露出面に蒸着させる段階: を含み、上記複層被膜は、少なくとも2.0μmの厚さを有し、そしてASTM D1044、CS10Fホイール、500g加重に従って測定した500回のテーバサイクル後に、ヘイズの差分が20単位以下の変化を示す耐摩耗性を有する。

請求項（抜粋）：

第一及び第二の表面を有する有機ポリマー基板の表面に、大気圧グロー放電蒸着によって複層被膜を調製する方法であって、当該方法の段階は、下記; 第一の段階において、プラズマ重合され、光学的に透明な、有機ケイ素化合物の層(第一の層)を、ケイ素含有試薬と所望により酸化剤とを含むガス状混合物を大気圧グロー放電蒸着させることにより前記有機ポリマー基板の表面に蒸着させる段階;その後第二の段階において、ポリマーシロキサン又は酸化ケイ素化合物の実質的に均一な層(第二の層)を、酸化剤とケイ素含有試薬とを含むガス状混合物を大気圧グロー放電蒸着させることにより前記第一の層の露出面に蒸着させる段階: を含み、前記複層被膜は、少なくとも2.0μmの厚さを有し、そしてASTM D1044、CS10Fホイール、500g加重に従って測定した500回のテーバサイクルの後に、ヘイズの差分が20単位以下の変化を示す耐摩耗性を有する。

IPC (6件)：

C23C 14/12 , C23C 16/42 , H05H 1/24 , C08J 7/04 , B32B 9/00 , B32B 27/00

FI (7件)：

C23C14/12 , C23C16/42 , H05H1/24 , C08J7/04 M , C08J7/04 , B32B9/00 A , B32B27/00 101

Fターム (71件)：

4F006AA22 , 4F006AA36 , 4F006AB39 , 4F006AB67 , 4F006AB76 , 4F006BA02 , 4F006CA00 , 4F006CA04 , 4F006DA01 , 4F100AA20C , 4F100AA20E , 4F100AH06B , 4F100AH06D , 4F100AK01A , 4F100AK25A , 4F100AK25E , 4F100AK45A , 4F100AK45E , 4F100AK52B , 4F100AK52C , 4F100AK52D , 4F100AK52E , 4F100AL01A , 4F100AL01E , 4F100AT00A , 4F100AT00E , 4F100BA03 , 4F100BA05 , 4F100BA07 , 4F100BA10A , 4F100BA10C , 4F100BA10E , 4F100EH66B , 4F100EH66C , 4F100EH66D , 4F100EH66E , 4F100EJ05A , 4F100EJ05E , 4F100EJ61B , 4F100EJ61D , 4F100GB07 , 4F100GB32 , 4F100JA20B , 4F100JA20C , 4F100JA20D , 4F100JA20E , 4F100JK06 , 4F100JK09 , 4F100JK09C , 4F100JK09E , 4F100JK17 , 4F100JL00 , 4F100JN01 , 4F100YY00B , 4F100YY00C , 4F100YY00D , 4F100YY00E , 4K029AA11 , 4K029AA25 , 4K029BA62 , 4K029BC01 , 4K029BC02 , 4K029CA12 , 4K029DB06 , 4K029EA03 , 4K030AA06 , 4K030AA09 , 4K030BA35 , 4K030BA61 , 4K030FA01 , 4K030JA09

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