特許

J-GLOBAL ID：200903058916819378

電子ビームによる画像取得装置

発明者： 濱田 弘幸
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 加藤 朝道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-323976
公開番号（公開出願番号）：特開平8-160111
出願日： 1994年12月02日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：

【要約】【目的】LSIの配線電位を電子ビームを用いて画像の電位コントラストとして得る場合に、チャージアップによる電位コントラストの消失を防ぐ。【構成】二次電子による電位像を取得する期間には、電子ビームのLSIチップ上に照射される領域への電流密度を小さくするよう制御する手段を備える。好ましくは、外部から入力されるトリガー信号に基づき、電子ビームのLSIチップ上に照射される領域への電流密度を可変させるか、又は、二次電子を所定期間のみ画像化するゲートを有し、ゲートがオンの時には、電子ビームのLSIチップ上に照射される領域への電流密度を小さくする。

請求項（抜粋）：

LSIチップ上の所定領域に電子ビームを走査的に照射して発生する二次電子を検出し画像化する装置において、前記二次電子による電位像を取得する期間には、前記電子ビームの前記LSIチップ上に照射される領域への電流密度を小さくするように制御する手段を備えたことを特徴とする装置。

IPC (4件)：

G01R 31/302 ,  H01J 37/04 ,  H01J 37/22 502 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G01R 31/28 L ,  H01L 21/30 541 Z