特許

J-GLOBAL ID：200903058918853476

板状透明体の板厚測定方法

発明者： 山内 英男 ,  谷 秀人 ,  佐野 嘉彦
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
代理人 (1件)： 泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-261065
公開番号（公開出願番号）：特開平6-213627
出願日： 1993年10月19日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：

【要約】【構成】第1の受光器6と第2の受光器10とを異なる位置に設ける。予め、既知の板厚のガラス1を使用し、その傾斜角度位置を変え、板厚の補正値Δdと受光器6、10へ光ビームが到達するまでの時間t1 、t2 との関係を求めておく。測定時に、t1 、t2 を求め、見掛けの板厚を補正する。【効果】板状透明体の位置、角度が変わっても誤差を生じない。

請求項（抜粋）：

板状透明体に所定の角度で光ビームを照射し、板状透明体の表面に直交し、光ビームを含む面内で光ビームを走査し、第1の受光器において、板状透明体の表面で反射される光ビームが到達してから裏面で反射される光ビームが到達するまでの時間より板状透明体の板厚を測定する方法において、第1の受光器とは異なる位置に第2の受光器を設け、予め、既知の板厚の板状透明体を用いて板状透明体の位置及び入射角を変えて基準時刻から第1の受光器に光ビームが到達するまでの時間t1 及び基準時刻から第2の受光器に光ビームが到達するまでの時間t2 並びに第1の受光器において、表面で反射された光ビームが到達してから裏面で反射された光ビームが到達するまでの時間より求めた見掛けの板厚と真の板厚とから補正値を求め、t1 、t2 と補正値との関係を求めておき、被測定体である板状透明体の表面で反射される光ビームが第1の受光器に到達してから裏面で反射される光ビームが第1の受光器に到達するまでの時間より求めた見掛けの板厚を、t1 、t2 を測定して得られた補正値で補正することを特徴とする板状透明体の板厚測定方法。