特許
J-GLOBAL ID:200903058922394222

流体を用いる搬送装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 井桁 貞一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-236682
公開番号(公開出願番号):特開平5-074916
出願日: 1991年09月18日
公開日(公表日): 1993年03月26日
要約:
【要約】【目的】 流体を用いる搬送装置における搬送用液の摩擦静電気の発生を防止する改良に関し、簡単且つ容易に設けることが可能な手段により、搬送用液に摩擦静電気が発生するのを防止することが可能となる流体を用いる搬送装置の提供を目的とする。【構成】 搬送用液2が流れる搬送管1内において、被搬送物7をこの搬送用液2を用いて搬送する流体を用いる搬送装置であって、この搬送用液2をこの搬送管1内において流動させるポンプ5と、この搬送用液2の比抵抗を測定する、この搬送管1のバイパスであるモニタ管3aと比抵抗計3bとからなるこの比抵抗測定モニタ3と、この比抵抗測定モニタ3により得られた比抵抗値に基づき、コントローラ4により回転数を制御されるこのポンプ5とを具備するように構成する。
請求項(抜粋):
搬送用液(2) が流れる搬送管(1) 内において、被搬送物(7)を前記搬送用液(2) を用いて搬送する流体を用いる搬送装置であって、前記搬送用液(2) を前記搬送管(1) 内において流動させるポンプ(5) と、前記搬送用液(2) の比抵抗を測定する比抵抗測定モニター(3) と、該比抵抗測定モニター(3)により得られた比抵抗値に基づき、前記搬送用液(2)の比抵抗値を所定の値に維持する手段と、を具備することを特徴とする流体を用いる搬送装置。
IPC (2件):
H01L 21/68 ,  B65G 51/02

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