特許
J-GLOBAL ID：200903058929608627

金属基板表面の検査方法及び検査装置

発明者：
岡谷 真治

岡谷 真治 について

, 
三橋 光幸

三橋 光幸 について


出願人/特許権者：
凸版印刷株式会社

凸版印刷株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-043860
公開番号（公開出願番号）：特開2009-204311
出願日： 2008年02月26日
公開日（公表日）： 2009年09月10日
要約：
【課題】めっきの製造条件の微少な変動によらず、めっきの検査を行なうことが可能な検査方法および検査装置を提供する。【解決手段】表面にめっき部と非めっき部の金属パターンを有する基板を所定速度で搬送する搬送段階と、基板の法線方向から0°〜10°傾いた方向から、搬送と同期を取るかまたは所定時間間隔で、基板の表面を撮像する撮像段階と、基板の非めっき部の金属材料とめっき部のめっき材料との反射強度の差が最大となる波長域の光を照明手段により照射するか、又はその波長域の光のみを選択的に透過可能な波長選択手段により不要な波長域の光を遮断して撮像させる波長選択段階と、基板に、第1の照明手段による間接光、又は第2の照明手段による直接光、のうちいずれか一方を照射させる照明選択段階と、撮像段階にて得られた基板の表面の画像データを用いて、非めっき部とめっき部に存在する欠陥を判定する画像処理・欠陥判定段階とを有する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
(1)表面にめっきがされためっき部とめっきがされていない非めっき部からなる金属パターンを有する基板を所定速度で搬送する搬送段階と、 (2)前記基板の法線方向から0°〜10°傾いた方向から、前記搬送段階での搬送と同期を取るかまたは所定時間間隔で、前記基板の表面を撮像する撮像段階と、 (3)前記基板の前記非めっき部の金属材料と前記めっき部のめっき材料との反射強度の差が最大となる波長域の光を照明手段により照射するか、又はその波長域の光のみを選択的に透過可能な波長選択手段により不要な波長域の光を遮断して撮像させる波長選択段階と、 (4)前記基板に、第1の照明手段による間接光、又は第2の照明手段による直接光、のうちいずれか一方を照射させる照明選択段階と、 (5)前記撮像段階にて得られた前記基板の表面の画像データを用いて、前記非めっき部と前記めっき部に存在する欠陥を判定する画像処理・欠陥判定段階と、 を有することを特徴とする金属パターンを有する基板の検査方法。
IPC (2件)：
G01N 21/956 ,  G01B 11/30
FI (2件)：
G01N21/956 B ,  G01B11/30 A
Fターム (41件)：
2F065AA49 ,  2F065AA52 ,  2F065AA56 ,  2F065BB02 ,  2F065CC17 ,  2F065CC31 ,  2F065DD04 ,  2F065DD09 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF41 ,  2F065GG02 ,  2F065GG03 ,  2F065GG07 ,  2F065GG15 ,  2F065GG17 ,  2F065GG21 ,  2F065HH12 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL28 ,  2F065NN02 ,  2F065QQ25 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13 ,  2G051AA65 ,  2G051AB02 ,  2G051AB07 ,  2G051AC21 ,  2G051BA01 ,  2G051BB01 ,  2G051BB07 ,  2G051BB11 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB08 ,  2G051EA08 ,  2G051EA16
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (7件)
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