特許

J-GLOBAL ID：200903058941489455

感光性組成物

発明者： 青合 利明 ,  水谷 一良
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 中村 稔 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-009928
公開番号（公開出願番号）：特開平5-019478
出願日： 1991年01月30日
公開日（公表日）： 1993年01月29日
要約：

【要約】 (修正有)【構成】 一般式(I)で表わされる1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-及び/又は5-オキシムスルホネート基を有する化合物を含有するポジ型感光性組成物。、Dは、1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-イル基又は1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-5-イル基を、R1 、R2は同一でも相異していてもよく、各々、水素原子等を、R3 は置換基を有していてもよいアルキル基等を、R4 、R5 は同一でも相異していてもよく、各々水素原子、アルキル基等を、示す。A1 、A2 、A3 は単結合、置換基を有していてもよいアルキレン、もしくはアリーレン基を示す。また、R1 とR2 、R1 、R2 とA1 、A2 、A3 もしくはA1 、A2 、A3 間の1つ又は複数個が結合し環を形成してもよい。【効果】 高感度であり、解像力に優れた感光性組成物を提供できる。

請求項（抜粋）：

下記一般式(I)で表わされる1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-及び/又は5-オキシムスルホネート基を有する化合物を含有するポジ型感光性組成物。【化1】式中、Dは、1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-イル基又は1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-5-イル基を示し、R1 、R2は同一でも相異していてもよく、各々、水素原子、置換基を有していてもよいアルキル、アルケニル、アリール、アラルキル、アルコキシ、アリーロキシ、シアノ、-CO-R3、もしくは-CO-NR4R5 の各基を示す。R3 は置換基を有していてもよいアルキル、アリール、アラルキル、アルコキシ、もしくはアリーロキシ基を示し、R4 、R5 は同一でも相異していてもよく、各々水素原子、アルキル、アリール、もしくはアラルキル基を示す。A1 、A2 、A3 は単結合、置換基を有していてもよいアルキレン、もしくはアリーレン基を示し、p、q、rは0又は1以上の整数を示す。また、R1 とR2 、R1 、R2 とA1 、A2 、A3 もしくはA1 、A2 、A3 間の1つ又は複数個が結合し環を形成してもよい。

IPC (4件)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 3/10 ,  G03F 7/022 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平2-170373