特許

J-GLOBAL ID：200903058941706545

脱泡機能を有する洗浄装置及び洗浄方法

発明者： 四ノ宮 文義
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-137124
公開番号（公開出願番号）：特開平8-000905
出願日： 1994年06月20日
公開日（公表日）： 1996年01月09日
要約：

【要約】【目的】 本発明は脱泡機能を有する洗浄装置及び洗浄方法に関し、洗浄液内の気泡を除去することができる脱泡機能を有する洗浄装置及び洗浄方法を実現することを目的とする。【構成】 オーバーフロー式洗浄槽1と、フィルター5及び脱泡装置11を含む循環濾過機構とよりなり、前記脱泡装置11は密閉容器12の上部に一部を挿入した液体入口パイプ13と排気パイプ14とが設けられ、該容器12の下部には液体出口パイプ15が設けられ、且つ前記液体入口パイプ13の先端は閉塞され、その上部円周上に液体流出用の複数の小孔16が穿設されて成るように構成する。

請求項（抜粋）：

オーバーフロー式洗浄槽(1)と、フィルター(5)及び脱泡装置(11)を含む循環濾過機構とよりなり、前記脱泡装置(11)は、密閉容器(12)の上部に一部を挿入した液体入口パイプ(13)と排気パイプ(14)とが設けられ、該容器(12)の下部には液体出口パイプ(15)が設けられ、且つ前記液体入口パイプ(13)の先端は閉塞され、その上部円周上に液体流出用の複数の小孔(16)が穿設されて成ることを特徴とする脱泡機能を有する洗浄装置。

IPC (4件)：

B01D 19/00 ,  B08B 3/10 ,  H01L 21/304 321 ,  H01L 21/304 341