特許
J-GLOBAL ID：200903058944034394
クライオポンプの立上げ方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-325810
公開番号（公開出願番号）：特開平9-166078
出願日： 1995年12月14日
公開日（公表日）： 1997年06月24日
要約：
【要約】【課題】 クライオポンプの立上げの際に、外部リーク等による真空度悪化異常を迅速に検知することにより、装置のダウンタイムを短縮し、稼働率の向上を図る。【解決手段】 クライオポンプの再生処理の終了後、当該ポンプの起動前に、ポンプ本体内を所定のハイレベル(例えば50mTorr)の真空度に達するまで真空引きし、その後に真空引きを一旦停止した上で、本体内の真空度を監視し、本体内の真空度が、所定時間(例えば3分間)以上、ローレベル(例えば100mTorr)以上の真空度を保持したか否かを判定し、外部リーク等の発生の有無をチェックする。
請求項（抜粋）：
クライオポンプの本体内を所定の真空度に達するまで真空引きし、その後に真空引きを一旦停止した上で、当該ポンプ本体内の真空度の保持状態を監視する真空度チェックを、クライオポンプの起動前に行うことを特徴とするクライオポンプの立上げ方法。
IPC (4件)：
F04B 37/08
, F04B 51/00
, F04D 19/04
, F04D 27/00
F04B 37/08
, F04B 51/00
, F04D 19/04 Z
, F04D 27/00 H
