特許
J-GLOBAL ID：200903058944199423
振動アクチュエータとその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鎌田 久男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-284778
公開番号（公開出願番号）：特開平11-121823
出願日： 1997年10月17日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：
【要約】【課題】 弾性体と電気機械変換素子とを確実に接合することができ、かつ、振動特性を優れたものとすることができる振動アクチュエータの製造方法を提供する。【解決手段】 弾性体11の表面に保護層15が塗布された後に、この保護層15が塗布された部分以外の部分に、ペースト状のはんだ13が塗布される。そして、はんだ13が加熱溶融されて、弾性体11及び圧電体16が接合される。弾性体11と圧電体16との接合面からはみ出した余分なはんだ13は、弾性体11及び圧電体16よりもぬれ性の小さい保護層15に付着することがない。このために、超音波アクチュエータ1の振動特性が変化したり、性能にばらつきが生じない。
請求項（抜粋）：
弾性体と、前記弾性体に駆動力を発生させる電気機械変換素子と、前記弾性体と前記電気機械変換素子とを接合する接合剤と、前記弾性体及び/又は前記電気機械変換素子に形成され、これらよりも前記接合剤に対するぬれ性が小さい非付着部と、を備えることを特徴とする振動アクチュエータ。
IPC (3件)：
H01L 41/09
, H01L 41/22
, H02N 2/00
H01L 41/08 C
, H02N 2/00 Z
, H01L 41/22 Z
