蛍光表示板およびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤谷修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-162869
公開番号（公開出願番号）：特開平11-339681
出願日： 1998年05月26日
公開日（公表日）： 1999年12月10日
要約：

【要約】【課題】電子線照射を用いた蛍光表示板において、その発光効率を上げること。【解決手段】ガラス基板11上に透明な導電膜12を形成する。更にその上に、Ga(CH<SB>3 </SB>)<SB>3 </SB>,NH<SB>3 </SB>,In(CH<SB>3 </SB>)<SB>3 </SB>等を原料としMOCVD法により、In<SB>x </SB>Ga<SB>Y </SB>Al<SB>1-X-Y </SB>からなる蛍光結晶膜13を成長させる。この時、蛍光発光強度が最大になる結晶軸<0001>と基板法線nが略平行になるように成長させる。その後、熱処理あるいはレーザーアニールにより蛍光結晶膜13中の多結晶を再結晶化させ、その結晶配向を高め基板法線n方向に一致させる。また、この工程により同時に多くの結晶粒界を消滅させ、粒界による乱反射を低減させる。これにより、最大効率で発光する蛍光表示板が実現できた。

請求項（抜粋）：

電子線照射により蛍光体を発光させ、絵、文字、記号等を表示させる蛍光表示板において、絶縁基板と、該絶縁基板上に2次元配列された導電膜と、該導電膜上に形成され、所定の結晶面が前記絶縁基板と平行に形成された3族窒化物半導体からなる蛍光結晶膜とを備えたことを特徴とする蛍光表示板。

IPC (6件)：

H01J 29/18 , C09K 11/62 , H01J 9/227 , H01J 29/20 , H01J 29/32 , H01J 31/12

FI (6件)：

H01J 29/18 A , C09K 11/62 , H01J 9/227 , H01J 29/20 , H01J 29/32 , H01J 31/12 C

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