特許
J-GLOBAL ID：200903058958415269
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田宮 寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-084774
公開番号（公開出願番号）：特開平8-254540
出願日： 1995年03月16日
公開日（公表日）： 1996年10月01日
要約：
【要約】【目的】 走査型プローブ顕微鏡において、条件に応じて圧電素子の非線形性を変位計を用いて補償し、測定分解能を高く保持する。【構成】 試料12に対向する探針14を備えるカンチレバー13と、試料と探針との相対的位置を変化させるXYZ微動機構11と、カンチレバーの変位量を検出する変位検出装置15,16,17と、走査を行うと共にカンチレバーの変位量が所定値に保持されるようにXYZ微動機構の動作を制御する制御手段31,34,51と、制御手段から出力される制御指令値に基づいて試料の表面物理情報を生成する表示演算手段36と、XYZ微動機構に含まれる少なくともX軸、Y軸の各方向の圧電素子によって生じる変位を測定する変位計と、走査時に変位計で測定された測定値を記憶する記憶部36a と、走査終了後に記憶手段に記憶された測定値を用いて表面物理情報を作成する手段とを備える。
請求項（抜粋）：
試料に対向する探針を先部に備えるカンチレバーと、前記試料と前記探針との相対的位置をX軸、Y軸、Z軸の各方向に変化させるXYZ微動機構と、前記試料と前記探針の間の物理量に起因して生じる前記カンチレバーの変位量を検出する変位検出装置と、前記探針による前記試料の走査を行うと共に前記カンチレバーの変位量が設定値に保持されるように前記XYZ微動機構の動作を制御する制御手段と、前記制御手段から出力される制御指令値に基づいて試料の表面の物理情報を生成する表示演算手段とを備えた走査型プローブ顕微鏡において、前記XYZ微動機構に含まれる少なくとも前記X軸、Y軸の各方向の圧電素子によって生じる変位を測定する変位計と、走査時に前記変位計で測定された測定値を記憶する記憶手段と、走査終了後に前記記憶手段に記憶された測定値を用いて前記表面の物理情報を作成する手段とを備えることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, H01J 37/28
G01N 37/00 A
, G01B 21/30 Z
, H01J 37/28 Z
