特許
J-GLOBAL ID:200903058965061510

走査電子顕微鏡の画像表示装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 井島 藤治 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-236612
公開番号(公開出願番号):特開2001-068050
出願日: 1999年08月24日
公開日(公表日): 2001年03月16日
要約:
【要約】【課題】 画像を任意の大きさで印刷する場合でも、画像と共に正確な倍率の印刷を行うことができる走査電子顕微鏡の画像表示装置を実現する。【解決手段】 CPU制御回路14は、操作手段15によって像の印刷条件が設定された後、画像メモリー11とプリンター制御回路16を制御する。画像メモリー11からは、画像信号と共に、画像の寸法情報(画像の長さに対する画素数等の情報)と、観察条件データに含まれる倍率(表示装置13に表示された像の倍率)Mの情報がプリンター制御回路16に供給される。プリンター制御回路16は、画像メモリー11から与えられた倍率Mと、表示装置14の画面の寸法Dと、CPU制御回路14から与えられた印刷時の画像の寸法D ́とから、印刷時の倍率M ́を演算する。プリンター制御回路16は、演算で求めた印刷時の倍率情報を画像メモリー11からの画像信号共にプリンター17に供給する。プリンター17は、用紙の指定された領域に画像を印刷すると共に、スケールSと倍率M ́を印刷する。
請求項(抜粋):
電子ビームを試料上に細く集束すると共に、試料上の任意の領域で電子ビームを2次元的に走査し、試料から得られた画像信号を画像ファイルに格納し、画像信号に基づいて試料の走査像を表示装置上に表示するようにした走査電子顕微鏡の画像表示装置において、画像ファイルからの画像信号に基づいてプリンターに走査像を印刷するように構成し、表示装置上の画像の寸法情報と倍率情報とに基づいて印刷時の画像の寸法に応じた修正倍率を演算し、修正倍率を走査像と共に印刷するように構成した走査電子顕微鏡の画像表示装置。
IPC (2件):
H01J 37/22 502 ,  H01J 37/22
FI (2件):
H01J 37/22 502 D ,  H01J 37/22 502 Z

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