特許
J-GLOBAL ID:200903058969032620

酸化物棒状単結晶の育成方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 石井 紀男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-093740
公開番号(公開出願番号):特開平6-279175
出願日: 1993年03月29日
公開日(公表日): 1994年10月04日
要約:
【要約】【目的】 EFG法を適用した酸化物棒状単結晶、特にルチル単結晶の育成方法において、良質で、かつ大きな棒状の単結晶を得ること。【構成】 雰囲気制御された容器内の、原料融液の入ったルツボ1にスリット4,4-1,4-2,4-3を備えたダイ7を設置し、そのスリットを介してダイ上面まで上昇した融液をもとに結晶を育成するルチル単結晶の育成方法において、種結晶8を回転させつつ育成する。
請求項(抜粋):
雰囲気制御された容器内の、原料融液の入ったルツボにスリットを備えたダイ(型)を設置し、そのスリットを介してダイ上面まで上昇した融液をもとに結晶を育成する方法において、種結晶を回転させつつダイ上面形状と同じ断面形状をもつ棒状結晶を育成することを特徴とする酸化物棒状単結晶の育成方法。
IPC (2件):
C30B 15/24 ,  C30B 29/16
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • 特開昭54-153786
審査官引用 (1件)
  • 特開昭54-153786

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