特許

J-GLOBAL ID：200903058970769440

ウエハフォトルミネスセンスマッピング装置

発明者： 中尾 正史
出願人/特許権者： 日本電信電話株式会社
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-049543
公開番号（公開出願番号）：特開平5-251537
出願日： 1992年03月06日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：

【要約】【目的】 本発明は、化合物半導体ウエハの面内フォトルミネスセンス特性を簡便、迅速かつ正確に測定評価することを目的とする。【構成】 レーザ光源3からの連続波レーザ光の一部を所定周期で断続して断続波レーザ光とする断続手段6と、断続波レーザ光の励起で生じるフォトルミネスセンスを取込んでフォトルミネスセンス強度を検出する受光手段12,13と、連続波レーザ光の励起で生じるフォトルミネスセンスを入力してフォトルミネスセンススペクトルを得る光スペクトルアナライザ19と、化合物半導体ウエハ内の測定位置を移動させる移動手段10と、フォトルミネスセンス特性分布をマッピング表示する表示手段1aとを有することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

連続波レーザ光の一部を所定周期で断続して断続波レーザ光を生成し、連続波レーザ光はスペクトル測定用、断続波レーザ光は強度測定用の各励起光として被測定試料である化合物半導体ウエハに照射し、当該化合物半導体ウエハのフォトルミネスセンス特性分布をマッピング表示するウエハフォトルミネスセンスマッピング装置であって、前記連続波レーザ光を出射するレーザ光源と、前記断続波レーザ光を生成する断続手段と、前記断続波レーザ光の励起で周期的に生じるフォトルミネスセンスを該フォトルミネスセンスの発生周期に同期して取込み、フォトルミネスセンス強度を検出する受光手段と、前記連続波レーザ光の励起で生じるフォトルミネスセンスを入力してフォトルミネスセンススペクトルを得る光スペクトルアナライザと、前記化合物半導体ウエハ内の測定位置を順次移動させる移動手段と、前記受光手段及び光スペクトルアナライザの各出力に基づいて前記フォトルミネスセンス特性分布をマッピング表示する表示手段とを有することを特徴とするウエハフォトルミネスセンスマッピング装置。

IPC (2件)：

H01L 21/66 ,  G01N 21/64

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-015915
  
• 特開平1-182738
  
• 特開昭62-189723