ウェハ搬送ロボット及びウェハ搬送方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：富澤孝 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-316322
公開番号（公開出願番号）：特開2003-117879
出願日： 2001年10月15日
公開日（公表日）： 2003年04月23日
要約：

【要約】【課題】ウェハ搬送ロボットのサーボモータの回動状態に拘わらず、過負荷状態が発生した場合に素早く検出することを可能にしたウェハ搬送ロボット及びウェハ搬送方法を提供すること。【解決手段】ウェハ搬送ロボット1は、モータ制御用マイコン12から出力される速度指令によってサーボモータ11が駆動制御される。そして、サーボモータ11に流された電流値から計測される実トルク値を、しきい値と比較することでサーボモータ11の過負荷状態を判断する。その際、モータ制御用マイコン12は、出力した速度指令値に基づいて算出される理論トルク値に、モータ制御用マイコン12に記憶されている所定値16を加えてしきい値を算出する。

請求項（抜粋）：

速度指令によるサーボモータの回動を介してウェハを搬送する際に、前記サーボモータの電流値を介して計測される実トルク値をしきい値と比較することで過負荷を検出するウェハ搬送ロボットにおいて、前記速度指令から計算される理論トルク値に基づいて前記しきい値を算出することを特徴とするウェハ搬送ロボット。

IPC (5件)：

B25J 19/06 , B65G 49/07 , G05B 19/18 , G05D 1/02 , H01L 21/68

FI (5件)：

B25J 19/06 , B65G 49/07 D , G05B 19/18 X , G05D 1/02 T , H01L 21/68 A

Fターム (45件)：

3C007AS05 , 3C007AS24 , 3C007BS15 , 3C007CT04 , 3C007CT05 , 3C007CV03 , 3C007HS27 , 3C007HT02 , 3C007KS28 , 3C007KS35 , 3C007KS37 , 3C007MS03 , 3C007MS23 , 5F031CA02 , 5F031DA01 , 5F031FA01 , 5F031FA07 , 5F031FA09 , 5F031FA11 , 5F031GA47 , 5F031GA48 , 5F031GA49 , 5F031LA08 , 5F031LA13 , 5H269AB33 , 5H269BB12 , 5H269CC09 , 5H269EE01 , 5H269NN07 , 5H269PP02 , 5H269PP03 , 5H269PP06 , 5H301AA02 , 5H301BB05 , 5H301BB14 , 5H301CC10 , 5H301DD06 , 5H301EE02 , 5H301GG14 , 5H301HH20 , 5H301JJ01 , 5H301LL01 , 5H301LL02 , 5H301LL08 , 5H301MM04

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